事例紹介

半導体用熱電対

半導体用温度センサは、各種半導体製造プロセスにおける温度管理に使用される温度センサです。高温用（1000℃以上）の拡散炉用プロファイル熱電対やクリーンルーム内の温度管理用のセンサーまでニーズに合わせた製品を提供いたします。

当社ではクリーンルーム内で組立作業をしており、要求される真空度に応じたHeリーク試験を実施することが可能です。
また　縦型拡散炉用の分布測用L字型プロファイル熱電対の製造や水素雰囲気化、高真空下でも使用可能な高い気密性を持った構造の温度センサの提供が可能です。