テレビやスマートフォン、パソコンには半導体と呼ばれる電子部品や薄型のディスプレイが搭載されていますが、それらの半導体やディスプレイを製造するには薄い膜を形成する成膜装置が必要となります。成膜装置では部品に薄い膜を形成する工程となりますが、温度のばらつきがあると膜の厚みに差が出て、製品の品質に大きく影響を及ぼすこともあり、温度のコントロールは重要となります。