テレビやスマートフォン、パソコンには半導体と呼ばれる電子部品や薄型のディスプレイが搭載されていますが、それらの半導体やディスプレイを製造するには薄い膜を形成する成膜装置が必要となります。成膜装置では部品に薄い膜を形成する工程となりますが、温度のばらつきがあると膜の厚みに差が出て、製品の品質に大きく影響を及ぼすこともあり、温度のコントロールは重要となります。
事例紹介
成膜装置用ヒータ
- ヒータ
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特徴
当社のヒータは、熱を発生させない非発シースと熱を発生させる発熱シースを小型スリーブで接続する「非発一体接続構造」により、複数のヒータをエリアに分ける際に、余計な箇所が加熱されるのを避けられます。また、装置やプレートに合わせた曲げ加工や御支給プレートの取り付け作業にも対応しており、成膜装置の温度調節に役立つヒータを提供致します。
