事例紹介

温度分布計測用ウエハセンサ

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スマートフォンやテレビ、パソコン等のデジタル家電には、半導体という電子部品が組み込まれております。その半導体の製造には、材料となるシリコンウエハに熱を加えて、含まれている不純物を除去したり、電気を通しやすくするしたりする工程があります。温度のムラがあると半導体の品質が低下してしまうため、温度管理は非常に重要な要素となります。

特徴

当社の温度分布計測用ウエハセンサは、シリコンウエハに接着材料が剥がれにくい特殊な穴加工を施し、温度センサを埋め込む技術を確立しております。様々なウエハサイズに対応しており、温度センサの埋め込み点数もご要求に合わせて検討致します。


ウェハセンサ