製品紹介

放射温度計 Photrix Series

  • 放射温度計
  • 中・高温用：150～3000℃
  • 半導体製造装置向けPhotrix

製品名

高精度放射温度計

 

型番

Photrix Series

 

高速応答、小スポット、高精度を実現した放射温度計です。
0.7～1.65μmのワイドレンジ、30℃の低温から測定できます。 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適しています。

用 途

    • 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適した温度計です。

特 長

    • 1msecの高速応答です。
    • φ0.5/50mmからの小スポット測定が可能です。
    • 30℃の低音から測定できます。
    • レンズはライトパイプ型を採用し、視野欠けする狭い場所も使用できます。
    • レンズの測定範囲は、50mm～2000mmです。
    • 光ファイバーによる延長ができますので、高温雰囲気や高周波誘導加熱での測定ができます。
    • ライトパイプ型は真空シールすることで、真空内導入ができます。
    • ライトパイプ型はφ25×115のコンパクト設計です。
    • バージ機能を付加することで、安定した測定が可能となります。
    • オプションでアナログ出力（4～20mAおよび0～10V）も可能です。
    • RS232双方向通信機能と計測ソフトでPC管理に対応しています。
    • 計測ソフトを用いてパラメータ設定やデータロギング、グラフ表示が可能です。

仕 様

■レンズ型

検出波長 温度範囲
0.88μm 280 ～ 2150℃、310 ～ 2600℃
0.90μm 270 ～ 2150℃、300 ～ 2600℃
1.55μm 125 ～ 2600℃、180 ～ 2600℃
0.70 ～ 1.65μm 65 ～ 1000℃、135 ～ 2400℃

■ライトパイプ型

検出波長 温度範囲
0.88μm 220 ～ 1300℃
0.90μm 210 ～ 1300℃
1.55μm 70 ～ 1100℃
0.70 ～ 1.65μm 30 ～ 670℃

■レンズ+ファイバー延長型

検出波長 温度範囲
0.88μm 280 ～ 2150℃、300 ～ 2500℃、345 ～ 3600℃
0.90μm 280 ～ 2150℃、300 ～ 2500℃、345 ～ 3600℃
1.55μm 270 ～ 2150℃、290 ～ 2500℃、335 ～ 2600℃
0.70 ～ 1.65μm 65 ～ 1100℃、80 ～ 1300℃、115 ～ 2600℃

■ライトパイプ+ファイバー延長型

検出波長 温度範囲
0.88μm 250 ～ 1600℃、265 ～ 1900℃、300 ～ 2600℃
0.90μm 240 ～ 1600℃、255 ～ 1900℃、290 ～ 2600℃
1.55μm 100 ～ 1800℃、115 ～ 2400℃、155 ～ 2600℃
0.70 ～ 1.65μm 60 ～ 900℃、65 ～ 950℃、100 ～ 1400℃

・アナログ出力は電流DC4～20mA、電圧DC0～10Vから選択可能です。
・インターフェースは、RS232です。

基本システム構成図

Photrix Series

アクセサリー

■標準アクセサリ

通信インターフェース（CIM）

温度計～CIM接続ケーブル（4m）

RS232ケーブル（3m）

DC12V電源ケーブル（AC100V）

計測ソフトウェアTemperaSure

      

■オプション

ライトアングルコネクタ

アナログ出力モジュール（AOM）4-20mA 0-10V同時出力

マルチチャンネルインターフェース（MCI）

ライトパイプ（特注仕様）
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