製品紹介

放射温度計 IS50-Si-LO+

  • 放射温度計
  • 中・高温用:150~3000℃
  • シリコンウェハー測定

製品名

光ファイバー放射温度計

 

型番

IS50-Si-LO+

 

IS50-Si-LO+は高速応答(最速1msec)の光ファイバー放射温度計です。
0.9μmの検出波長で、シリコンウェハーの温度を高精度で測定できます。

用 途

    • シリコンウェハーの温度測定に最適です。

特 長

    • 高速応答(最速1msec)が可能なので、温度変化の激しい試料や高速で移動する試料の温度測定に
      適しています。
    • 小スポット測定に対応しています。小さい試料(サンプル)でも測定できます。0.45φ/88mmから。
    • 本体にレーザパイロットボタンおよび温度表示器を内蔵しており、パラメータも設定可能です。
      現場での調整がより簡単になりました。
    • レンズは2タイプで計8種類を用意。測定範囲は88mm~4500mmをカバーします。
    • 可動焦点レンズ(TypeII)を採用しているので、任意の位置でスポット径を最適に絞れます。
    • 最高値保持回路を内蔵しているので、移動物体の測定にも適しています。
    • レーザーパイロットライトにより測定位置の確認が容易にできます。
    • 標準添付の専用計測ソフト(Windows用)でデータの記録とパラメータ設定ができます。

仕 様

温度範囲 400 ~ 1300℃、500 ~ 1600℃
検出波長 0.9μm

・アナログ出力はDC電流0~20mA/4~20mAを選択できます。
・最小50℃幅のスケーリング機能で従来機種との置き換えが可能です。
・インターフェースは、RS232及びバス接続ができるRS485にもスイッチで切り替え可能です。

基本システム構成図

50-LOシリーズ

アクセサリー

3834-370 Type I用取付金具1

3834-380 Type I用取付金具2

3834-230 Type II用取付金具

3834-390 Type I II兼用ボールアンドソケット取付金具

3835-170 Type I用エアーパージ管

3835-180 Type II用エアーパージ管