半導体製造装置ではプラズマを発生させたり、反応の質を良くしたりするために真空装置が主流となります。真空環境のため、接触式では真空に対応した構造を設けたり、清浄な雰囲気を保つ必要があるために使用できない部品もあるなど、さまざまな制限があります。
当社のファイバー式ライトパイプ放射温度計では真空装置にも対応できる商品となります。
事例紹介
半導体装置専用温度計（Photrix）
- 放射温度計・熱画像
- 産業機械
特徴
半導体装置専用温度計Photrixでは、石英やサファイアを使用したライトパイプを使用することで、真空装置内の対象物近傍に設置し、温度計測が可能です。
通常の窓ガラス越しでは窓ガラスのメンテナンスの必要がありますが、本製品のライトパイプ型はメンテナンスフリーで容易に温度計測が可能です。また窓ガラス越しファイバー式放射温度計も対応します。
放射温度計 Photrix Series （左）レンズ型 （右）ライトパイプ型