取扱い商品

放射温度計　IS50-Si-LO+

製品名

光ファイバー放射温度計

型番

IS50-Si-LO+

IS50-Si-LO+は高速応答（最速1msec）の光ファイバー放射温度計です。
0.9μmの検出波長で、シリコンウェハーの温度を高精度で測定できます。

用 途

• シリコンウェハーの温度測定に最適です。

特 長

• 高速応答（最速1msec）が可能なので、温度変化の激しい試料や高速で移動する試料の温度測定に
  適しています。
• 小スポット測定に対応しています。小さい試料（サンプル）でも測定できます。0.45φ/88mmから。
• 本体にレーザパイロットボタンおよび温度表示器を内蔵しており、パラメータも設定可能です。
  現場での調整がより簡単になりました。
• レンズは2タイプで計8種類を用意。測定範囲は88mm～4500mmをカバーします。
• 可動焦点レンズ（TypeII）を採用しているので、任意の位置でスポット径を最適に絞れます。
• 最高値保持回路を内蔵しているので、移動物体の測定にも適しています。
• レーザーパイロットライトにより測定位置の確認が容易にできます。
• 標準添付の専用計測ソフト（Windows用）でデータの記録とパラメータ設定ができます。

仕 様

• アナログ出力はDC電流0～20mA／4～20mAを選択できます。
• 最小50℃幅のスケーリング機能で従来機種との置き換えが可能です。
• インターフェースは、RS232及びバス接続ができるRS485にもスイッチで切り替え可能です。

基本システム構成図

50-LOシリーズ

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アクセサリー

3834-370 TypeⅠ用 取付金具1	3834-380 TypeⅠ用 取付金具2	3834-230 TypeⅡ用 取付金具	3834-390 TypeⅠⅡ兼用 ボールアンドソケット 取付金具
3835-170 TypeⅠ用 エアーパージﾞ管	3835-180 TypeⅡ用 エアーパージ管