取扱い商品

放射温度計　Photrix Series

製品名

高精度放射温度計

型番

Photrix Series

高速応答、小スポット、高精度を実現した放射温度計です。
0.7～1.65μmのワイドレンジ、30℃の低温から測定できます。 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適しています。

用 途

• 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適した温度計です。

特 長

• 1msecの高速応答です。
• φ0.5/50mmからの小スポット測定が可能です。
• 30℃の低音から測定できます。
• レンズはライトパイプ型を採用し、視野欠けする狭い場所も使用できます。
• レンズの測定範囲は、50mm～2000mmです。
• 光ファイバーによる延長ができますので、高温雰囲気や高周波誘導加熱での測定ができます。
• ライトパイプ型は真空シールすることで、真空内導入ができます。
• ライトパイプ型はφ25×115のコンパクト設計です。
• バージ機能を付加することで、安定した測定が可能となります。
• オプションでアナログ出力（4～20mAおよび0～10V）も可能です。
• RS232双方向通信機能と計測ソフトでPC管理に対応しています。
• 計測ソフトを用いてパラメータ設定やデータロギング、グラフ表示が可能です。

仕 様

■レンズ型

■ライトパイプ型

■レンズ+ファイバー延長型

■ライトパイプ+ファイバー延長型

• アナログ出力は電流DC4～20mA、電圧DC0～10Vから選択可能です。
• インターフェースは、RS232です。

基本システム構成図

Photrix Series

※画像をクリックすると拡大します

アクセサリー

■標準アクセサリ

通信インターフェース （CIM)	温度計～CIM接続 ケーブル（4m）	RS232ケーブル （3m）	DC12V電源ケーブル （AC100V)
計測ソフトウェア TemperaSure

■オプション

ライトアングルコネクタ

アナログ出力モジュール （AOM) 4-20ｍA 0-10V同時出力

マルチチャンネル インターフェース （MCI)

ライトパイプ(特注仕様） お問い合わせ下さい。