製品紹介

セラサーモ熱電対

熱電対素線にセラミック薄膜で絶縁することにより、作業性に難点のあった絶縁管や保護管を不要にし、細径化と軽量化を可能にした熱電対です。
「YAMARI CERATHERMO」および「ヤマリセラサーモ」は山里産業株式会社の登録商標です（登録商標第4582780号）。

特徴

  1. 作業性良好
    絶縁管の継ぎ目で捻れたり短絡しません。
  2. 省スペース
    実質的には熱電対と同径です。
  3. 軽量
    実質的には熱電対と同重量です。
  4. 高可撓性
    絶縁管や保護管による制約がありません。
  5. 低ガス放出性
    超高真空内で使用可能です。

用途

  • 半導体製造装置
    • ウエハーの温度分布測定
  • 真空装置
    • 各種蒸着装置、スパッタリング装置の基板温度測定
    • 分析装置内の温度測定
  • 製造装置（CVD装置、熱処理炉）
    • 精密焼成炉、精密合成炉内の温度測定

仕様

熱電対素線の種類 タイプＫ
線径（代表例） φ0.1　φ0.2　φ0.32

＊　必要により温接点加工もお引き受けいたします。
＊　温接点加工および端末加工時はセラミックス皮膜除去を行なわないと正しい起電力を発生しないことがあります。

YAMARI CERATHERMO®温接点加工付き

※　L寸法は、ご要望の寸法で製作いたします。

YAMARI CERATHERMO®の構造

 

 

セラサーモ熱電対に関するお問い合わせはこちら